半导体加工行业应用案例分享

纵观半导体设备的发展历史，不难发现半导体设备紧随芯片制造中心而不断东移：从70-80年代的美国，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中国台湾与韩国。

随着中国制造技术的不断发展，与本身庞大的市场需求相互帮衬，未来十年，中国有望成为半导体芯片制造的中心。

目前，在国家重大科技专项的支持下，集成电路主要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度、稳定性等性能要达到*的标准外，传感器也被要求实现更多的检测任务。

作为有着超过75年历史的工业传感器生产厂商，SICK具有深厚的技术积累，丰富的产品种类，可以为半导体设备厂商提供更多样的产品、更优异的性能以及更专业的服务。

1、硅板厚度测量

产品系列：OD5000位移测量传感器 订货号：6063621

客户应用:太阳能硅片分选机，客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度，精度要求为2um

采用2*OD5000-C30T05上下组合方式，来测量硅片的厚度

客户利用上位机接受数据做算法处理，判定硅片的规格

客户受益:

双头侧厚，通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元，无需额外控制器计算

高达80kHZ测量频率，准确测量微小变化

激光定位更加柔性，可视觉，产品定位精度更高

实时在线测量，相对于线激光方案，节省成本，精度更高

2、石英载具到位检测

产品系列：WTF12G 订货号：1065719

客户应用：石英载具装载硅片进行热处理、涂层等一系列工艺流程。

需要对半透明石英载具进行稳定到位检测，由于热处理中温度较高，无法安装反射板，只能选择漫反射。

检测距离较远，无法使用V镜头光电传感器。

客户受益：

WTF12G是漫反射前景抑制型原理，无需反射板，只需对背景进行示教即可

可以稳定地检测透明、半透明等物体

检测距离可达700mm