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半导体加工行业应用案例分享

发布时间:2022-03-03   点击次数:83次

纵观半导体设备的发展历史,不难发现半导体设备紧随芯片制造中心而不断东移:从70-80年代的美国,到80-90年代的日本,再到90年代后期的中国台湾与韩国。


随着中国制造技术的不断发展,与本身庞大的市场需求相互帮衬,未来十年,中国有望成为半导体芯片制造的中心。


目前,在国家重大科技专项的支持下,集成电路主要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度、稳定性等性能要达到极高的标准外,传感器也被要求实现更多的检测任务。


作为有着超过75年历史的工业传感器生产厂商,SICK具有深厚的技术积累,丰富的产品种类,可以为半导体设备厂商提供更多样的产品、更优异的性能以及更专业的服务。

1、硅板厚度测量


产品系列:OD5000位移测量传感器 订货号:6063621

客户应用:太阳能硅片分选机,客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度,精度要求为2um


采用2*OD5000-C30T05上下组合方式,来测量硅片的厚度


客户利用上位机接受数据做算法处理,判定硅片的规格


客户受益:


双头侧厚,通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元,无需额外控制器计算


高达80kHZ测量频率,准确测量微小变化


激光定位更加柔性,可视觉,产品定位精度更高


实时在线测量,相对于线激光方案,节省成本,精度更高


2、石英载具到位检测


产品系列:WTF12G 订货号:1065719

客户应用:石英载具装载硅片进行热处理、涂层等一系列工艺流程。


需要对半透明石英载具进行稳定到位检测,由于热处理中温度较高,无法安装反射板,只能选择漫反射。


检测距离较远,无法使用V镜头光电传感器。


客户受益:


WTF12G是漫反射前景抑制型原理,无需反射板,只需对背景进行示教即可


可以稳定地检测透明、半透明等物体


检测距离可达700mm

 

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